空气悬浮真空泵
空气悬浮离心真空泵是一种单级离心式真空泵，不需要齿轮箱、增速器及联轴器，由高速永磁电机(PMSM)直接驱动，而电机采用变频器(VFD)来调速。鼓风机叶轮直接与电机结合,而转轴被悬浮于主动式空气轴承(Air Bear-ing)上。
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